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      專業鑄就價值,合作成就未來

      槽式異質結制絨清洗機

      槽式異質結制絨清洗機

      主要功能:

      用于去除硅片表面雜質,在硅片表面形成金字塔絨面,降低硅片表面的反射率。



      0512-66163090
      在線咨詢

      設備性能

      產能: Up to 8000 wafers/hour

      設備有效利用率:≥97%

      碎片率:M12≤0.01%

       

      硅片規格

      硅片厚度:≥160 μm

      硅片尺寸:182*182-230*230mm

      花籃類型:Low-surface carrier (LSC)made by PVDF

      花籃片間距:4.76mm

      花籃容量:100 wafers

       

      機械臂系統

      機械臂:8 sets

      伺服馬達:16 PC

      抬起時間:Less than 22 sec 

       

      設備尺寸 

      長*寬*高:27300*3200*2650mm


      方向

      工作方向:Left→Right  / Right→Left(TBD)

       

      電力供應

      供電:AC380V 3PH+PE+N 50Hz(TBD)

      控制電源:DC 24V

      滿載電源:230KW/175KW

      建議最大保險絲規格:225A/135A

       

      安裝要求

      最小地面承重:750Kg/㎡

      最低車間高度:3.5m

      無塵室級別:ISO7(10K Class)

      環境溫度:17℃<RT<30℃

      最大濕度:70%


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