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      專業鑄就價值,合作成就未來

      槽式單晶制絨機 S400/S510/S550/S600

      槽式單晶制絨機 S400/S510/S550/S600

      主要功能:

      用于單晶硅片的損傷層去除、制絨、清洗、干燥。



      0512-66163090
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      設備性能

      產能: Up to 9600/8000/10000/12000 Wafers/Hour

      設備有效利用率:≥98%

      碎片率:≤0.01%

       

      硅片規格

      硅片厚度:≥140 μm

      硅片尺寸:156.75*156.75mm-212*212mm

      花籃類型:Low-surface carrier (LSC)made by PVDF

      花籃片間距:4.1mm

      花籃容量:100-120 wafers


      機械臂系統

      機械臂:4 sets

      伺服馬達:8 PC

      抬起時間:Less than 5 sec 

       

      設備尺寸 

      長*寬*高:15998*2630*2574mm

      長*寬*高:16200*3000*2574mm

      長*寬*高:17730*3000*2574mm

      長*寬*高:25560*2960*2574mm

       

      方向

      工作方向:Left→Right  / Right→Left(TBD)

       

       電力供應

      供電:AC380V 3PH+PE+N 50Hz(TBD)

      控制電源:DC 24V

      滿載電源:230KW/138KW

      建議最大保險絲規格:225A/135A

       

      安裝要求

      最小地面承重:750Kg/㎡

      最低車間高度:3.5m

      無塵室級別:ISO7(10K Class)

      環境溫度:17℃<RT<30℃

      最大濕度:70%


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