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      鏈式清洗機5道/8道/10道

      鏈式清洗機5道/8道/10道

      主要功能:

      設備性能

      可調傳動速度:0.5-3m/min

      常規運行速度:2.5m/min

      產能: Up to 4000/6800/8000 Wafers/H@20mm

      設備有效利用率:≥98%

      反射率:≤16%

      碎片率:≤0.03%

       

      硅片規格

      硅片厚度:≥140 μm

      硅片尺寸:156.75*156.75mm-212*212mm

       

      設備尺寸 

      長*寬*高:5060*2250*2120mm

      長*寬*高:3710*2650*2120mm

      長*寬*高:3810*3050*2200mm

      工作寬度:965mm/1515mm/1911mm

      傳輸高度:1000±25mm

      模塊材料:PP,PVDF

       

      傳動

      傳動類型:5 lane/8 lane/10 lane

      軸間距:50mm/60mm

      主傳動軸:17mm,Hexagon

      傳動滾輪:Φ32mm

       

      方向

      工作方向:Left→Right  / Right→Left(TBD)

       

      電力供應

      供電:AC380V 3PH+PE+N 50Hz(TBD)

      控制電源:DC 24V

      滿載電源:25A/48A

      建議最大保險絲規格:48A/63A

       

      安裝要求

      最小地面承重:750Kg/㎡

      最低車間高度:3.5m

      無塵室級別:ISO7(10K Class)

      環境溫度:17℃<RT<30℃

      最大濕度:70%




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