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      專業鑄就價值,合作成就未來

      鏈式刻蝕機5道/8道/10道

      鏈式刻蝕機5道/8道/10道

      主要功能:

      用于單、多晶硅片的刻蝕、去PSG/BSG、清洗、干燥。



      0512-66163090
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      設備性能

      可調傳動速度:0.5-3m/min

      常規運行速度:2.5m/min

      產能: Up to 4000 Wafers/H@20mm

        Up to 6800 Wafers/H@20mm

                 Up to 8000 Wafers/H@20mm

      設備有效利用率:≥98%

      刻蝕深度范圍:0.7~6μm

      碎片率:≤0.03%

       

      硅片規格

      硅片厚度≥140μm

      硅片尺寸156.75*156.75mm-212*212mm


      傳動

      傳動類型:5 lane/6 lane

      軸間距:50mm/60mm

      主傳動軸:17mm,Hexagon

      傳動滾輪:Φ32mm

       

      方向

      工作方向:Left→Right/ Right→Left(TBD) 

       

      電力供應

      供電:AC380V 3PH+PE+N 50Hz(TBD)

      控制電源:DC 24V

      滿載電源:75A

      建議最大保險絲規格:100A


      安裝要求

      最小地面承重:75Kg/㎡

      最低車間高度:3.5m

      無塵室級別:ISO7(10K Class)

      環境溫度:17℃<RT<30℃

      最大濕度:70%





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